Spiegel und Optiken
Renishaw hat verschiedene Optiken und Spiegel im Sortiment und bietet damit Lösungen für Ihre spezifische Anwendung mit dem RLE Laser-Wegmesssystem.
Planspiegel
Die von Renishaw angebotenen Planspiegel werden auf einem Glassubstrat mit einer sehr geringen thermischen Ausdehnung gefertigt und besitzen eine harte dielektrische Beschichtung.
Vorteile und Merkmale
- Thermisch stabil – Durch die Fertigung auf einem Substrat mit geringer thermischer Ausdehnung werden Fehler aufgrund von Umgebungsveränderungen minimiert.
- Stark reflektierend – Die stark reflektierende Spiegeloberfläche (>97%) gewährleistet eine herausragende Leistung.
- Leicht montierbar – Die Spiegelhalterungen von Renishaw ermöglichen eine einfache Ein- und Ausrichtung.
Abmessungen
| Querschnitt | 25 mm x 25 mm |
| Optische Öffnung | 60 mm bis 380 mm (in Schritten von 10 mm) |
Spezifikationen
| Lokale Ebenheit | < λ/10 über einen Bereich von 12 mm Breite x 7 mm Höhe ( λ = 633 nm) |
| Gesamtebenheit | < λ/10 über 100 mm <0,5 µm über 500 mm |
| Kreuzpolarisation | < 0,5% |
| Reflexionsvermögen | > 97% des einfallenden Strahls |
| Material | Glas mit geringer thermischer Ausdehnung |
Spiegelhalterungen
Zur Befestigung und richtigen Ausrichtung der Spiegel am Bewegungssystem bietet Renishaw einstellbare Halterungen, die für Spiegel mit einer Länge bis 350 mm verwendet werden können.
Die Halterungen haben einen Querschnitt von 25 mm x 25 mm. Sie bieten eine Gierwinkeljustage von bis zu ±2,5° und eine Neigungswinkeljustage von ±1°. (Der tatsächliche Verstellbereich hängt von der jeweiligen Spiegellänge ab.)
Die von Renishaw angebotenen Spiegelhalterungen sind nicht vakuumtauglich.
Vorteile und Merkmale
- Leicht ausrichtbar – Integrierte Kipp- und Gierwinkeljustage zur Beschleunigung des Spiegelausrichtvorgangs.
- Stabile Montage – Sicherstellung einer stabilen Auflage für den Spiegel, die gleichzeitig die thermische Ausdehnung nach Bedarf zulässt.
- Nicht einschränkend – Durch die sichere Klemmung des Spiegels nur auf zwei Seiten wird die auf den Spiegel wirkende Beanspruchung reduziert. Gleichzeitig wird die Gefahr minimiert, dass sich der Spiegel nach der Montage verbiegt.
39 mm Vakuumkammerfenster
Das RLE faseroptische Laser-Messsystem nutzt die Interferometrie zur Erzeugung hochauflösender linearer Positionssignale.
Der RLD10-X3-DI Differenzialinterferometer-Kopf wird an der Außenwand der Vakuumkammer befestigt. Durch das Vakuumkammerfenster werden die Laserstrahlen zwischen dem Detektorkopf und dem Messspiegel durchgeleitet. Diese Fenster sind auch mit anderen Interferometerkopf-Varianten, wie dem vakuumtauglichen RVI20 Interferometer, einsetzbar, wenn der RLD Detektorkopf beispielsweise für Messungen innerhalb der Vakuumkammer benötigt wird.
Renishaw stellt zwar keine Vakuumkammerfenster her, hat das 39 mm Vakuumkammerfenster jedoch nach Kundenwunsch anfertigen lassen, um die Leistungsfähigkeit des RLE faseroptischen Laser-Messsystemszu maximieren.
Empfehlungen zum Einbau
Bitte beachten Sie folgende Hinweise, wenn Sie das Kammerfensters in die Wand der Vakuumkammer einbauen:
- Das Fenster darf nicht unter Spannung eingesetzt werden, da es sich sonst verzerren und Abweichungen des Strahls von der Sollrichtung verursachen könnte.
- Mindestens an einer Seite des Kammerfensters muss ein O-Ring als Dichtung in der Vakuumkammerwand eingesetzt werden.
15 mm DI Periskop
Das Periskop erhöht den Versatz zwischen dem Mess- und Referenzstrahl des Differenzialinterferometer-Detektorkopfes RLD10-X3-DI.
Das Periskopsystem verwendet zwei Spiegel, um den Versatz um 15 mm zu erhöhen und einen Gesamtabstand von 29 mm zu erzielten (der Versatz in der RLD10-X3-DI Standardausführung beträgt 14 mm).
Vorteile und Merkmale
- Erhöhter Versatz – Zusätzlicher Versatz um 15 mm zwischen dem Mess- und Referenzstrahl.
- Stark reflektierend – Durch den Einsatz stark reflektierender Spiegel wird der Signalstärkeabfall zwischen dem Mess- und Referenzstrahl minimiert.
- Standardmontage – Das Periskop gewährleistet die Standardmontage des DI Detektorkopfes.
Vakuumtaugliches RVI20 Interferometer
Das RVI20 ist ein vakuumtaugliches Interferometer für Planspiegel. Bei Verwendung in Verbindung mit dem RLD10-A3-XX Detektorkopf bietet es die Möglichkeit, die gesamte Messung in der Vakuumumgebung auszuführen.
Das RVI20 wurde für die Installation in der Vakuumkammer entwickelt. Der Laserstrahl wird vom RLD10-A3-XX Detektorkopf durch ein Fenster der Vakuumkammer in das RVI20 Interferometer und dann auf den Planspiegel geleitet.
Vorteile und Merkmale
- Relativmessungen – Durchführbarkeit von Relativmessungen zwischen zwei Teilen der Maschine, beispielsweise Werkzeug und Werkstück.
- Vakuumkompatibilität – Mit Hochvakuumanwendungen kompatibel und zur Montage innerhalb der Vakuumkammer geeignet.
- Hochwertige Optiken – Das RVI20 enthält die hochwertige Interferometeroptik von Renishaw, die normalerweise im RLD Detektorkopf eingesetzt wird.
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