TONiC™ UHV Inkrementelles Messsystem mit RTLC20 Maßband
Merkmale
- Abtastkopfgröße: 35 x 13,5 x 10 mm
- Auflösung bis 1 nm
- Geschwindigkeit bis 10 m/s
- Analoge oder digitale Ausgangssignale
- Sehr geringer zyklischer Fehler (SDE): typischerweise < ±30 nm
- Vom Anwender wählbare, optische IN-TRAC™ Referenzmarke
Vorteile
- Ultrahochvakuum (UHV)
- Vorteile eines Maßbands und einzigartige Unempfindlichkeit
- Träger-Maßbandsystem zur schnellen, leichten Installation und einfachen Erneuerung des Maßbands
- Extrem kompaktes Messsystem mit dynamischer Signalverarbeitung für verbesserte Regelgüte
- Diagnosekit
Was ist TONiC UHV?
Mit TONiC UHV lässt sich das kompakte, berührungslose Messsystem von Renishaw bei Ultrahochvakuum-Anwendungen einsetzen, wobei Anwender von einer verbesserten Bewegungsführung profitieren.
TONiC bietet Geschwindigkeiten bis 10 m/s und, in Verbindung mit dem Ti Interface, Auflösungen bis 1 nm sowohl für lineare als auch rotatorische Anwendungen. TONiC Systeme lassen sich dank großzügiger Einstelltoleranzen und Kalibrierung per Knopfdruck schnell und einfach installieren. Die dynamische Signalverarbeitung von TONiC gewährleistet eine verbesserte Signalstabilität mit einem extrem geringen zyklischen Fehler von typischerweise < ±30 nm zur Erzielung einer überragenden Regelgüte.
Was ist ein RTLC20 Maßband?
RTLC20 ist ein Maßband aus Edelstahl mit einer Teilungsperiode von 20 µm und einer vom Anwender wählbaren IN-TRAC Referenzmarke. Es besitzt eine Genauigkeit von ±5 µm/m und ist in Längen bis 10 m (> 10 m auf Anfrage) erhältlich. Zwei Montagemöglichkeiten sind verfügbar, die beide eine unabhängige thermische Ausdehnung erlauben und die Vorteile eines flexiblen Maßbands bieten.
RTLC20 kann mit dem revolutionären FASTRACK™ Maßband-Trägersystem verwendet werden. Mit diesem System können Führungsschienen schnell und einfach ganz ohne Befestigungsbohrungen verlegt werden. Ein Abstandshalter wird entfernt und das Maßband dann in die Führungsschiene eingeführt.
Das RTLC20-S Maßband wird mit der selbstklebenden Rückseite auf dem Untergrund befestigt. Der spezielle Kleber gewährleistet eine vom Installationsuntergrund unabhängige Maßbandausdehnung.
Zum Abschluss der Installation werden beide Maßbandtypen an einem Punkt zur Festlegung einer Bezugsposition mit einer Klemme fixiert.
Was spricht für dieses Messsystem?
Ultrahochvakuum (UHV)
TONiC UHV Abtastköpfe bauen auf der hervorragenden Leistungsfähigkeit der standardmäßigen TONiC Abtastköpfe auf, jedoch wurden sie unter Verwendung UHV-tauglicher Materialien und Verfahren entwickelt und hergestellt, sodass sie sich für UHV-Umgebungen bis 10 -10 Torr eignen.
Die Baureihe der TONiC UHV Messsysteme mit Zubehör ist aus vakuumtauglichen Materialien und Klebstoffen gefertigt, um niedrige Ausgasraten und eine nachweislich saubere Restgasanalyse (RGA) zu erhalten. Dadurch eignet sie sich für viele Anwendungen einschließlich Waferhandling/Wafertesting, wissenschaftliche Instrumente, Spektroskopie, Ausrüstung zur Prüfung im Vakuum und vieles mehr.
Leicht abnehmbares Maßband
RTLC20/FASTRACK ist ideal für Anwendungen, bei denen die Maschine für den Transport zerlegt oder das Maßband zu Beförderungszwecken installiert/entfernt werden muss. Das Maßband kann aus den Führungsschienen herausgezogen und selbst bei schwer zugänglichen Installationen schnell wieder ersetzt werden, wodurch die Maschinenausfallzeit stark reduziert wird.
Hervorragende Messtechnik
Das TONiC Messsystem verfügt über Renishaws bewährte Filteroptiken und hochentwickelte Signalverarbeitung. Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) Technologien reduzieren das Rauschen in analogen Signalen und digitalen Jitter im Abtastkopf.
TONiC Messsysteme bieten ein außergewöhnlich niedriges Ausgangsrauschen (Jitter von <±0,5 nm RMS) und einen geringen zyklischen Fehler von <±30 nm. Messsysteme können so die Position besser halten und erzeugen weniger Wärme in Anwendungen mit Linearmotoren. Zudem ermöglicht ein niedriger Jitter eine gleichmäßigere Geschwindigkeitsregelung in Hochpräzisionsanwendungen, die mit niedrigen Geschwindigkeiten arbeiten.
Flexible Konfiguration
Die TONiC Baureihe bietet eine Vielzahl externer Interfaces, die für die benötigten Geschwindigkeiten und Auflösungen der jeweiligen Anwendung konfiguriert werden können. Durch die nachträgliche Integration und Konfiguration des externen Interfaces bietet ein vielseitiger TONiC Abtastkopf viele Optionen für die individuelle Anpassung durch den Endnutzer.
Die wahlweise erhältlichen TONiC Interfaces ermöglichen die digitale, analoge oder doppelte Ausgabe von digitalen und analogen Signalen. Das TD (Dual Resolution) Interface bietet zwei wählbare Auflösungen für die Ausgabe. Für großformatige Druckanwendungen ist ein DPI Interface erhältlich. Dank der flexiblen Konfigurationsmöglichkeiten des TONiC Messsystems können OEMs von einer überragenden Regelgüte und hohem Messdurchsatz bei einer Vielzahl verschiedener Anwendungen profitieren.
Interface-Optionen
TD (Dual Resolution) Interface
- Rechtecksignale mit zwei wählbaren Auflösungen.
- Ideal für Anwendungen, bei denen schnelle Bewegungen mit Präzisionsbewegungen kombiniert werden.
DOP (Dual Output) Interface
- Liefert zeitgleich digitale Rechtecksignale und 1 Vss-Signale.
- Für Anwendungen entwickelt, bei denen ein oder mehrere Abläufe mit einer Bewegungsachse synchronisiert werden müssen.
Diagnosekit (optional)
Die TONiC Diagnosesoftware kann zur Optimierung der Installation von TONiC Messsystemen verwendet werden und bietet eine schnelle und umfassende Systemkalibrierung. Die Software muss in Verbindung mit der TONiC Diagnosehardware eingesetzt werden, die von Renishaw unter der Artikelnummer A-9411-0011 erhältlich ist. Die Hardware wird über das USB-Kabel (im Kit enthalten) an den PC oder in Reihe mit der Kundenelektronik angeschlossen.
Hier erfahren Sie Näheres zum TONiC Diagnosekit.
Technische Daten
Maßverkörperung | FASTRACK RTLC20: Maßband aus Edelstahl mit Trägersystem RTLC20-S: Maßband aus Edelstahl mit selbstklebender Rückseite zur direkten Montage auf dem Installationsuntergrund ohne FASTRACK Führungsschienen |
Abtastkopfgröße (LxBxH) | 35 mm x 13,5 mm x 10 mm |
Teilungsperiode | 20 μm |
Thermischer Ausdehnungskoeffizient bei 20 °C | 10,1 ±0,2 µm/m/°C |
Gesamtgenauigkeit bei 20 °C | ±5 μm/m |
Referenzmarke | IN-TRAC Referenzmarken direkt in RTLC20 / RTLC20-S eingebettet Auswahlmagnet zur Bestimmung der gewählten Referenzmarke |
Endschalter | Ein oder zwei Endschalter (bei Bestellung angeben) |
Maßbandlänge | FASTRACK: 100 mm bis 25 m RTLC20/RTLC20-S: bis 10 m (> 10 m auf Anfrage) |
Maximale Geschwindigkeit Analog Digital | (Siehe Datenblatt für nähere Informationen) Bis zu 10 m/s bei -3 dB Bis zu 10 m/s |
Zyklischer Fehler (SDE) | Typischerweise < ±30 nm |
Dynamische Signalregelung | Signalaufbereitung in Echtzeit einschließlich Auto Gain Control (AGC) und Auto Offset Control (AOC) für optimale Leistung während des Betriebs |
Inkrementalsignale Analog Digital | 1 Vss (20 µm Teilungsperiode) Auflösungen von 5 μm bis 1 nm |
Elektrische Verbindung | 0,5 m, 1 m, 1,5 m, 3 m, 5 m und 10 m Kabel mit Miniverbinder (wird direkt an das TONiC Interface angeschlossen) |
Spannungsversorgung | 5 V ±10%, < 100 mA (analoges System), < 200 mA (digitale Systeme) (ohne Stecker) |
| Stromverbrauch | < 100 mA |
Vibration (im Betrieb) | 100 m/s2 max. bei 55 Hz bis 2.000 Hz |
Schock (nicht in Betrieb) | 1.000 m/s2, 6 ms, ½ Sinus |
Betriebstemperatur (System) | 0 ℃ bis +70 °C |
Ausbacktemperatur (nicht im Betrieb) | 120 °C (nur Abtastkopf und Maßstab) |
Schutzklasse | Abtastkopf: IP20 Interface: IP20 |
Kabelaufbau | Einzeln geschirmte FEP-Aderisolation mit verzinntem Kupfergeflecht |
Vollständige technische Details finden Sie in den Datenblättern.