백서: 레이저 간섭계를 이용한 진직도 측정 및 이동형 기계 테이블의 측정 (pdf)

이 백서에서는 Renishaw의 레이저 간섭계를 이용한 진직도 옵틱의 기본적인 작동 원리에 대해 자세히 설명합니다. 그리고 이러한 옵틱을 사용하여 이동 테이블 기계 움직임의 진직도를 측정하는 방법을 설명합니다. 특히 진직도 간섭계 또는 반사경의 설치 위치나 광학 장치의 이동 조건에 따른 측정 결과 차이에 중점을 둡니다.