案例分析: 运动平台在真空环境中的应用:超高真空 (UHV) 光栅助力提升稳定性 (pdf)

檔案大小: 2.79 MB 語言: 中文(简体) 產品編號: H-5650-0017

在工业界有不少制程需要在真空环境下进行,许多高精密产品在制造过程中也必需使用程度不一的真空技术;产品最后在大气环境下使用。典型应用包括显示面板中薄膜和基板之间的精密贴合制程、半导体制程中的薄膜溅镀、晶圆检测等等。

此類檔案需要使用閱讀器,您可在以下網址免費獲得 Adobe

您是否未找到您要找的內容?

告訴我們您無法找到 我們將盡力提供援助