多 DoF 光學尺
多 DoF（多自由度）光學尺系統最多可量測六個自由度 (6DoF)。歡迎深入瞭解 Renishaw 多 DoF 量測技術如何搭配獨一無二的 RXMA 1.5D 光學尺，為動態運動應用提供高效能的位置量測功能。
絕對控制動態運動應用
Renishaw 精心打造真正的絕對式多 DoF 光學尺系統，採用一或多組 RXMA 1.5D 光學尺，由深獲市場肯定的 RESOLUTE™ 絕對式光學尺進行讀取。這項組合提供先進的多 DoF 位置量測功能，不同於增量式光學尺，經常需要等待長時間的返回原點循環。RXMA 絕對式光學尺使用低膨脹係數基材，提供卓越的熱穩定度。
專為高效能應用設計打造
Renishaw 絕對式多 DoF 光學尺系統非常適合用於高效能運動系統。例如半導體產業使用的 XY 雙軸平台等高動態應用，需要具備卓越的精度及重現性，以符合品質及生產力需求。如果能沿著各軸量測多個自由度，機器製造商就能動態量測誤差來源，例如線性導軌的真直度。Renishaw 多 DoF 光學尺能在製程內補償所產生的平移及旋轉誤差，協助維持製程功能及提升元件良率。
真正的 X 與 Y 軸量測
RXMA30 光學尺採用兩種正交光學尺圖形，能夠於 X 及 Y 軸直接量測位置。獨立量測主要的線性自由度能夠提供計量效益。例如 X 軸一般長度較長，其中檢測到的任何熱膨脹現象，都不會對 Y 軸量測造成影響。
簡易的電氣與機械整合
Renishaw 多 DoF 方法結合獨特及不同的軸，簡化與控制迴路之間的整合。直接量測 X 及 Y 軸除了便於訊號處理，也能相容於一系列的序列介面。
機器設計人員可依據應用需求設置讀頭，而個別讀頭可獨立運作，彼此互不影響。此外也可以透過配置結合使用末端或側邊出口的纜線，協助簡化各軸的佈線。
絕對式多 DoF 光學尺系統：讀頭及光學尺
多 DoF 光學尺系統至少包含一個 1.5D 光學尺及兩個或多個讀頭。絕對式讀頭及光學尺的最大光學尺長度如下所示：
RESOLUTE™ 讀頭 （30 µm 柵距） 高精度 高速運作 |
RXM 多 DoF 光學尺 1.5D 玻璃光學尺 低膨脹係數 重現性高 X 軸 = 350 mm Y 軸 = 4 mm |
Renishaw 完整的多 DoF 計量解決方案
Renishaw 是高效能運動系統的計量合作夥伴，提供一系列技術因應您應用的特定需求。
Renishaw 提供各種多 DoF 量測解決方案：雷射校正儀、光學尺及雷射光學尺。
- XM-60 及 XM-600 多光束校正儀可協助製造商量測六個自由度的誤差，以建立高度精準的製程根基。
- 多 DoF 絕對式光學尺解決方案能夠確保卓越的製程內位置量測及監控能力，以便在作業中維持最佳效能。
- RMAP 多軸觀測鏡結合三個雷射干涉儀頭，用於量測高效能 XY 雙軸平台的線性位置、俯仰角和偏轉角。
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