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雷射光學尺說明

雷射光學尺系統可為量測工具組提升準確度和精度。雷射干涉量測法是確立已久的距離量測方法,具有很高的精度。

Renishaw 的干涉雷射系統

自 1994 年起,Renishaw 就持續供應各種長距離和短距離的雷射型回饋解決方案。

HS10 雷射光學尺系統是我們第一款長距離解決方案,距離範圍長達 60 m,廣泛應用於航太、海洋及其他專業應用的大型工具機。我們在 2012 年推出 HS20 長距離雷射,提供重新設計的光學鏡組與電子裝置,打造更出色、更堅強的效能。

RLE 雷射編碼器系列於 2001 年面世,提供短距離回饋(最長 4 m)。

RLE 使用專利的「遠端」雷射光源及光纖連結頭,提供強化的計量效能、減少安裝體積,以及簡化安裝設定。系統可輕鬆配置,因應各種不同光學配置及應用需求。

RLE 系統在全球 DR 與 CD-SEM 量測設備製造商,以及許多其他短距離應用中頗負盛名。其特性與功能提供許多過去無法實現的干涉量測優勢。請參閱為什麼要使用雷射干涉光學尺文章,深入瞭解使用 Renishaw 雷射光學尺的各種優點。

我們為 RLE 及 HS20 系統提供各種配件,例如環境補償系統、光學鏡組及訊號介面。

Michelson 干涉儀圖表


想知道其中的運作原理嗎?

我們在《干涉量測法如何運作》一文中說明雷射干涉量測的運作原理,以及這類設備如何用於實現高精度的位置回饋。

閱讀文章

何種類型的應用會使用雷射編碼器?

雷射編碼器或位移干涉儀通常用於需要最高精度的應用項目。

Renishaw 雷射光學尺系統適用於各種客戶應用。其中結合位移干涉儀的極致效能,以及傳統鋼帶和玻璃光學尺易於安裝的優點。

矽晶圓半導體導覽圖像
同步加速器導覽
© Getty images:雷射平台
雷射光學尺航太導覽
LCD 檢測 (蓋帝圖像)
CMM 檢測圖像

Renishaw 雷射光學尺提供具備高解析度與低週期誤差的線性位置量測功能,歡迎進一步探索我們一系列的雷射尺、長距離雷射及配件。

常見問題集

我不確定技術詞彙的意義。是否有常用的干涉光學尺詞彙術語表可供參考?

是,您可在我們的術語表尋找最常用詞彙的定義。

 

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