ケーススタディ: M-60 マルチアクシスキャリブレータで半導体 ウェハ検査におけるプロセス品質と生産性を改善 (pdf)

台湾の Certain Micro Application Technology 社 (景美科技股份有 限公司、以下 CMAT 社) は、半導体プロセス用の高精度プローブ カードのメーカーである。同社は、機器の状態をチェックし、顧客の 要求を満たせる最適運用を確保するための機械キャリブレーショ ンソリューションを求めていた。