Zrcadla a optiky
Společnost Renishaw poskytuje širokou nabídku optických prvků a zrcadel pro řešení specifických aplikací laserového odměřovacího systému RLE.
Rovinná zrcadla
Rovinná zrcadla dodávaná společností Renishaw jsou vyráběná na podkladu ze skla s nízkou teplotní roztažností a mají tvrdý oxidový dielektrický povlak.
Funkce a výhody
- Tepelně stabilní - vyrobená ze substrátu s nízkou tepelnou roztažností, takže minimalizují chyby způsobené změnami prostředí.
- Vysoce odrazivá - vysoce odrazivý povrch zrcadel (>97%) pro maximální výkon.
- Snadná montáž - úchyty zrcadel společnosti Renishaw umožňují snadné ustavení a seřízení.
Rozměry
| Průřez | 25 mm x 25 mm |
| Optický otvor | 60 mm až 380 mm (po krocích 10 mm) |
Technické údaje
| Lokální rovinnost | < λ/10 na ploše 12 mm šířky × 7 mm výšky ( λ = 633 nm) |
| Celková rovinnost | < λ/10 na 100 mm, < 0,5 µm na 500 mm |
| Křížová polarizace | < 0,5% |
| Odrazivost | > 97% dopadajícího paprsku |
| Materiál | Sklo s nízkou tepelnou roztažností |
Úchyty zrcadel
Aby bylo možné zrcadla uchytit a správně vyrovnat s pohybovým systémem, nabízí společnost Renishaw také nastavitelné úchyty pro použití se zrcadly do délky 350 mm.
Úchyty mají průřez 25 mm x 25 mm a umožňují nastavení ve dvou osách až ±2.5° (yaw) a ±1° (pitch). (Skutečný rozsah nastavení závisí na délce zrcadla.)
Úchyty zrcadel dodávané společností Renishaw nejsou určeny pro práci ve vakuu.
Funkce a výhody
- Snadné vyrovnání - možnost nastavení sklonu ve dvou osách urychluje seřízení zrcadla.
- Stabilní upevnění - poskytuje zrcadlu pevnou základnu, přičemž neomezuje jeho teplotní roztažnost.
- Neomezující - bezpečné uchycení zrcadla na dvou stranách snižuje namáhání zrcadla. To minimalizuje nebezpečí prohnutí namontovaného zrcadla.
Okno vakuové komory 39 mm
Laserové snímače RLE s vláknovou optikou poskytují díky interferometrickému principu odměřování vysoce přesnou polohovou zpětnou vazbu.
Diferenciální interferometr RLD10-X3-DI je určen pro montáž na stěnu vakuové komory. Okno vakuové komory pak umožňuje průchod laserového paprsku mezi detekční hlavou a měřicím zrcadlem. Tam, kde je pro měření uvnitř vakuové komory požadována detekční hlava RLD, jako např. interferometr RVI20 pro vakuum, lze okno vakuové komory také použít s jinými variantami interferometrické hlavy.
Protože společnost Renishaw okna pro vakuové komory nevyrábí, bylo pro maximalizaci výkonu laserového systému s vláknovou optikou RLE 39 mm okno vakuové komory získáno dodavatelsky, podle zakázkové specifikace.
Doporučení pro montáž
Při montáži okna do stěny vakuové komory doporučuje společnost Renishaw následující.
- Při montáži okna nesmí dojít k pnutí, protože by docházelo k deformaci okna a k odchylce paprsku.
- Pro utěsnění okna ve stěně vakuové komory musí být alespoň na jedné straně okna použit O-kroužek.
Sestava periskopu 15 mm DI
Sestava periskopu zvětšuje vzdálenost mezi měřicím a referenčním laserovým paprskem detekční hlavy diferenciálního interferometru RLD10-X3-DI.
Sestava pomocí dvou zrcadel zvětšuje vzdálenost paprsků o 15 mm na celkových 29 mm (standardní ofset paprsků interferometru RLD10-X3-DI je 14 mm).
Funkce a výhody
- Zvětšený rozestup paprsků - umožňuje dodatečný 15 mm ofset mezi měřicím a referenčním paprskem.
- Vysoká odrazivost - použití vysoce odrazivých zrcadel minimalizuje pokles intenzity signálu mezi měřicími a referenčními paprsky.
- Standardní upevnění - periskop udržuje standardní upevnění DI detektor hlavy.
RVI20 Vakuově kompatibilní interferometr
RVI20 je vakuově kompatibilní interferometr pro rovinná zrcadla. Při použití s detekční hlavou RLD10-A3-XX poskytuje schopnost udržet celou měřicí cestu ve vakuovém prostředí.
Zařízení RVI20 je navrženo k montáži uvnitř vakuové komory. Laserový paprsek z detekční hlavy RLD10-A3-XX prochází okénkem komory do RVI20 a potom na rovinné zrcadlo.
Funkce a výhody
- Relativní měření - umožňuje relativní měření mezi dvěma částmi stroje, například nástrojem a obrobkem.
- Vakuová kompatibilita - je kompatibilní s prostředím vysokého vakua a je vhodný pro montáž ve vakuové komoře.
- Vysoce kvalitní optika - RVI20 obsahuje vysoce kvalitní optickou sestavu interferometru společnosti Renishaw, která se normálně používá v detekční hlavě RLD.
Prozkoumejte naši nabídku interferometrických laserových snímačů, které poskytují mimořádnou přesnost zpětné vazby lineárního polohování.
Kontaktujte ještě dnes náš prodejní tým
Obraťte se na místní kancelář, kde se dozvíte více informací a promluvíte si s odborníkem.