Zwierciadła i układy optyczne
Firma Renishaw oferuje bogatą rodzinę układów optycznych i zwierciadeł w celu zapewnienia rozwiązań enkodera laserowego RLE dostosowanych do wymagań użytkownika.
Zwierciadła płaskie
Zwierciadła płaskie dostarczane przez Renishaw są wytwarzane na podłożu o niskiej rozszerzalności i posiadają twardą, tlenkową powłokę dielektryczną.
Właściwości i korzyści
- Stabilność termiczna — wyprodukowane na podłożu o niskiej rozszerzalności; minimalizują błędy spowodowane zmianami warunków środowiskowych.
- Wysoki współczynnik odbicia — powierzchnia zwierciadła ma wysoki współczynnik odbicia (>97%) w celu zapewnienia doskonałych parametrów.
- Łatwość mocowania — mocowania zwierciadeł firmy Renishaw to rozwiązanie, które jest łatwe do skonfigurowania i zestrojenia.
Wymiary
| Przekrój poprzeczny | 25 mm x 25 mm |
| Apertura optyczna | 60 mm do 380 mm (w przyrostach co 10 mm) |
Dane techniczne
| Płaskość miejscowa | < λ/10 na obszarze o szerokości 12 mm x 7 mm wysokości (λ = 633 nm) |
| Płaskość całkowita | < λ/10 na 100 mm, <0,5 µm na 500 mm |
| Polaryzacja skrośna | < 0,5% |
| Współczynnik odbicia światła | > 97% wiązki padającej |
| Materiał | Szkło o małej rozszerzalności cieplnej |
Zamocowania zwierciadeł
Aby zapewnić zamocowanie zwierciadeł i poprawne zestrojenie względem układu mechanicznego, Renishaw oferuje nastawne zamocowania przeznaczone do stosowania ze zwierciadłami o maksymalnej długości 350 mm.
Zamocowania mają przekrój poprzeczny 25 mm x 25 mm, umożliwiają regulację odchylenia w poziomie w zakresie ±2,5° oraz regulację pochylenia w pionie w zakresie ±1°. (Rzeczywisty zakres regulacji zależy od długości zwierciadła.)
Zamocowania zwierciadeł dostarczane przez Renishaw nie są zgodne z wymaganiami dla zastosowań próżniowych.
Właściwości i korzyści
- Łatwe zestrojenie — wbudowana regulacja skoku i odchylenia w celu przyspieszenia procesu zestrojenia.
- Stabilne zamocowanie – w celu zapewnienia stabilnej podstawy zwierciadła przy jednoczesnym umożliwieniu jego rozszerzalności cieplnej.
- Brak ograniczeń – bezpieczne zaciśnięcie zwierciadła z dwóch stron zmniejsza jego naprężenia. Minimalizuje to ryzyko wygięcia zwierciadła po zamontowaniu.
Okno komory próżniowej 39 mm
Światłowodowy enkoder laserowy RLE służy do interferometrycznego pomiaru przemieszczenia liniowego o wysokiej rozdzielczości.
Interferometr różnicowy RLD10-X3-DI jest przeznaczony do zamontowania na ściance komory próżniowej. Okno komory próżniowej umożliwia przejście wiązki laserowej między głowicą detekcyjną a zwierciadłem pomiarowym. Okien komory próżniowej można również używać wraz z innymi wariantami głowic interferometru, w których głowica detekcyjna RLD jest wymagana do pomiaru w komorze próżniowej, jak np. interferometr do zastosowań próżniowych RVI20.
Choć firma Renishaw nie produkuje okien komory próżniowej, okno 39 mm zostało wyprodukowane przez firmę zewnętrzną zgodnie z niestandardowymi specyfikacjami w celu zmaksymalizowania wydajności laserowego światłowodowego systemu pomiarowego RLE.
Zalecenia dotyczące montażu
Poniżej przedstawiono zalecenia firmy Renishaw dotyczące montażu okna w ściance komory.
- Podczas montażu okna nie wolno dopuścić do powstania naprężeń, które mogą spowodować jego odkształcenie i odchylenie wiązki lasera od wartości nominalnej.
- Przynajmniej z jednej strony okna komory należy zastosować pierścień samouszczelniający w celu uszczelnienia ścianki komory próżniowej.
Zespół peryskopu DI 15 mm
Zespół peryskopu pozwala na zwiększenie offsetu między pomiarem i wiązkami referencyjnymi głowicy detekcyjnej interferometru różnicowego RLD10-X3-DI.
W zespole zastosowano dwa zwierciadła do zwiększenia offsetu o 15 mm w celu uzyskania łącznej separacji równej 29 mm (standardowy offset przyrządu RLD10-X3-DI wynosi 14 mm).
Właściwości i korzyści
- Zwiększony offset — pozwala na uzyskanie dodatkowej przestrzeni 15 mm między wiązką pomiarową i odniesienia.
- Wysoki współczynnik odbicia – zastosowanie zwierciadeł o wysokim współczynniku odbicia minimalizuje spadek mocy sygnału między wiązką pomiarową i odniesienia.
- Standardowe zamocowanie – peryskop ma standardowe mocowanie detektor głowicy DI.
Interferometr RVI20 do zastosowań próżniowych
RVI20 to interferometr do zwierciadeł płaskich, który można stosować w próżni. W połączeniu z głowicą detekcyjną RLD10-A3-XX umożliwia utrzymanie całej ścieżki pomiaru w środowisku próżniowym.
Zespół RVI20 montuje się wewnątrz komory próżniowej. Wiązka laserowa przechodzi od głowicy detekcyjnej RLD10-A3-XX przez okno komory do interferometru RVI20, a następnie do zwierciadła płaskiego.
Właściwości i korzyści
- Pomiary względne — pozwala na wykonywanie pomiarów względnych między dwoma częściami maszyny, jak np. narzędzie i przedmiot obrabiany.
- Do zastosowań próżniowych — możliwość używania w wysokiej próżni i mocowania w komorze próżniowej.
- Układ optyczny wysokiej jakości — w zespole RVI20 zastosowano układ optyczny z wysokiej jakości interferometrem, który jest standardowo używany w głowicy detekcyjnej RLD.
Poznaj rodzinę interferometrycznych enkoderów laserowych, które zapewniają najwyższą dokładność w układach sprzężenia zwrotnego położenia liniowego.
Skontaktuj się z naszym zespołem ds. sprzedaż
Skontaktuj się z lokalnym biurem, aby uzyskać więcej informacji i porozmawiać z ekspertem.