ATOM™ 光學尺在高端自動光學檢測設備上的應用

AOI 設備主要部份包括：光源、取像系統、機電及運動控制系統和影像處理分析軟體等。工作原理主要是利用 CCD 攝像頭擷取被測物件影像，透過圖像識別法與實際參考圖像作比對，經過複雜演算和分析從而識別檢測元件是否良品。

現今電子產品日益趨向精密微型化，在運動控制技術層面上，光學尺的解析度或是速度必須滿足設備的要求方能確保設備在短時間內完成檢測工作。JET AOI 部門經理吳曉暉博士介紹 ATOM 光學尺在新款 AOI 設備上的應用：「這款 AOI 設備的結構屬龍門架式，Y軸 (橫向) 以線性馬達驅動固定在軸上的 CCD 攝像頭，行程約為 600 - 800 mm。位置回饋系統採用 ATOM 40 um 柵距光學尺，透過 ATOM RI 介面輸出 1um 解析度的數位回饋訊號。X軸（縱向）則以滾珠螺桿驅動，檢測進行時攝像頭在每隔 6 um 的移動距離（縱向）以橫向方式掃瞄被測物件，最終併成完整圖像。

攝像頭在移動時的平穩流暢能確保系統所掫取圖像的完整性，而光學尺的細分誤差（SDE）對攝像頭移動的流暢度有決定性的影響。

ATOM 系列光學尺的細分誤差低至 ± 75 nm，足以滿足絕大部份中高端掃瞄應用，而 Renishaw 另一 TONiC™ 系列光學尺提供的細分誤差更低至 ± 30 nm，適合用於頂級 AOI 設備。

讀頭精巧 靈活性高

JET 目前所生產的 AOI 設備的掃瞄和空載移動速度分別達 300 mm/s和 600 mm/s，檢測的重複精度則為 ± 5 um。吳博士說道：「我們當初開發新機台時適逢 ATOM 光學尺系列的推出，印象特別深的是該讀頭結合了微型設計和高端規格，節省佔用空間的同時性能也得以提昇，計算過成本在預算範圍內的情況下我們決定採用，到目前為止 ATOM 光學尺表現依然十分穩定。」

ATOM 讀頭最小尺寸僅 6.7 x 12.5 x 20.5 mm，透過連接外部介面對應系統所要求的解析度進行訊號細分，這分離式設計不但實現了讀頭的微型化，而且增加了 JET 在設備設計上的靈活度。吳博士續說：「JET 的強項是根據客戶的要求開發客制化的 AOI 設備，客戶很多時侯都會因應不同製程來定立設備的規格要求。分離式介面設計容許我們在組裝追加設備訂單或更新系統時有更大的靈活性，譬如說在更新時僅需要即場更換介面從而提昇系統解析度而不需對機械部份進行任何修改。

RGH 光學尺系列在 AOI 設備上的應用

人性化設計，穩定可靠

JET 在使用 ATOM 之前，十多年來一直沿用 Renishaw 光學尺，包括增量式 RGH 22，RGH41 和 RGH45 系列。ATOM是目前 Renishaw 所有光學尺產品線中體積最小的系列，繼承了Renishaw 產品一貫人性化的設計風格。吳博士說道：「ATOM 一如 RGH 光學尺系列安裝簡單便利，透過安裝 LED 了解系統當前狀況，不需額外繁瑣儀器的輔助。另外我們也體驗到 ATOM 光學尺的抗污性能對比 RGH 系列有進一步的提昇，部份工作環境較差的客戶反映顆粒粉塵這一類污染物一旦累積到一定程度就會妨礙光學尺的表現，不過 ATOM 對這一類污染物的抵抗力更強，也容許使用一般酒精等清潔劑作維護。」

ATOM 系列是 Renishaw 採用獨特過濾光學鏡組設計的微型光學尺。讀頭內的 DSP 動態信號處理功能（包括自動增益控制與自動偏置控制），確保光學尺在被污染情況下輸出訊號的穩定性和純正度。

JET 高性能 AOI 設備

 JET 公司 AOI 部門經理吳曉暉博士