Speglar och optik
Renishaw erbjuder en mängd olika lösningar med optik och speglar för din specifika tillämpning med RLE-laserpulsgivare.
Planspeglar
Renishaws planspeglar är tillverkade på ett glassubstrat med låg värmeexpansion och har en dielektrisk hårdoxid-beläggning.
Egenskaper och fördelar
- Temperaturstabil - tillverkat på ett substrat med låg värmeexpansion vilket minimerar fel orsakade av variationer i omgivningen.
- Högreflektiv - högreflektiv spegelyta (>97 %) för ultimat prestanda.
- Enkel att montera - Renishaws spegelfästen ger en enkel lösning för inställning och uppriktning.
Mått
| Tvärsnitt | 25 mm x 25 mm |
| Optisk bländare | 60 mm till 380 mm (10 mm steg) |
Specifikation
| Lokal planhet | < λ/10 över ett område 12 mm brett x 7 mm högt ( λ = 633 nm) |
| Total planhet | < λ/10 per 100 mm, <0,5 µm per 500 mm |
| Korspolarisering | < 0,5 % |
| Reflektivitet | > 97 % av den infallande strålen |
| Material | Glas med låg temperaturutvidgning |
Spegelfästen
För att möjliggöra att speglar monteras och uppriktas korrekt mot rörelsesystemet, erbjuder Renishaw även justerbara fästen för användning med speglar upp till en längd på 350 mm.
Dessa fästen har ett tvärsnitt på 25 mm x 25 mm och möjliggör upp till ±2,5° justering av tippningen och ±1° justering av lutningen. (Det verkliga justeringsintervallet beror på spegelns längd.)
Renishaws spegelfästen är inte vakuumkompatibla.
Egenskaper och fördelar
- Enkel att upprikta - inbyggd justering av lutning och tippning för snabbare uppriktning av spegeln.
- Stabil montering - ger en stabil grund för spegeln samtidigt som den kan expandera med temperaturen vid behov.
- Icke-restriktiv - genom att endast fästa spegeln säkert på två ytor minskas spänningarna genom spegeln. Detta minimerar risken för att spegeln böjs efter att den monterats.
39 mm vakuumkammarfönster
RLE fiberoptiska laserpulsgivare använder interferometri för att ge linjär feedback med hög upplösning.
RLD10-X3-DI differentialinterferometern har konstruerats för att monteras på vakuumkammarens vägg. Ett vakuumkammarfönster möjliggör att laserstrålarna passerar mellan detektorhuvudet och mätspegeln. Vakuumkammarfönster kan även användas med andra varianter av interferometerhuvuden där RLD-detektorhuvudet behövs för att mäta inom en vakuumkammare, t.ex. den vakuumkompatibla interferometern RVI20.
Renishaw tillverkar inte vakuumkammarfönster, men 39 mm vakuumkammarfönstret har beställts med en specialanpassad specifikation för att maximera RLE fiberoptiska lasersystemets prestanda.
Monteringsrekommendationer
Renishaw rekommenderar följande när kammarfönstret monteras i kammarens vägg.
- Fönstret får inte monteras med spänningar, då det kan orsaka att fönstret deformeras och att strålen avviker från det nominella.
- En O-ring måste användas på minst en sida av kammarfönstret för att skapa och upprätthålla en försegling i kammarens vägg.
15 mm DI periskopenhet
Periskopenheten ökar förskjutningen mellan mätnings- och referenstrålarna på detektorhuvudet RLD10-X3-DI med differential-interferometer.
Enheten använder två speglar för att öka förskjutningen med 15 mm för att ge en total separation på 29 mm (RLD10-X3-DI-standardförskjutningen är 14 mm).
Egenskaper och fördelar
- Ökad förskjutning - möjliggör ytterligare 15 mm förskjutning mellan mätnings- och referensstrålen.
- Högreflekterande - som använder högreflekterande speglar minimerar minskningen av signalstyrkan mellan mät- och referensstrålen.
- Standardmontering - periskopet bibehåller standardfästet för DI-detektorhuvuden.
RVI20 vakuumkompatibel interferometer
RVI20 är en vakuumkompatibel interferometer för planspeglar. När den används med RLD10-A3-XX detektorhuvuden gör den så att hela mätsträckan kan förbli inom vakuummiljön.
RVI20 har konstruerats för att monteras inom vakuumkammaren. Laserstrålen passerar från RLD10-A3-XX-detektorhuvudet genom ett kammarfönster in till RVI20 och sedan på planspegeln.
Egenskaper och fördelar
- Relativa mätningar - möjliggör relativa mätningar mellan två delar av maskinen, såsom verktyg och arbetsstycke.
- Vakuumkompatibilitet - kompatibel med applikationer med högt vakuum och är lämplig för montering i vakuumkammaren.
- Optik med hög kvalitet - RVI20 innehåller Renishaws högkvalitativa optiska interferometerenhet som normalt används i RLD-detektorhuvudet.
Upptäck vårt sortiment med interferometriska laserpulsgivare som erbjuder högsta möjliga noggrannhet vid linjär positionsåterkoppling.
Kontakta vårt försäljningsteam idag
Kontakta ditt lokala kontor för att få mer information och prata med någon av våra experter.