RMAP fleraxligt periskop
Det fleraxliga periskopet (RMAP) möjliggör mätningar med sex frihetsgrader i XY-plantillämpningar genom att minimera strålens storlek från flera interferometrar. Med hjälp av en RLU-laserenhet och tre RLD10-X3-DI-interferometerhuvuden kan det fleraxliga periskopet noga mäta tippning, girning och linjär position.
Med ett vinkelintervall på ±30 bågsekunder är det fleraxliga periskopet kompatibelt med de flesta högpresterande plan, vilket ytterligare optimerar deras prestanda. Med ett enda monteringsfäste kan det fleraxliga periskopet installeras snabbt och enkelt på vakuumkammaren eller mätningsramen.
När RLD10-X3-DI-huvudet används för vinkelmätning kan felen som genereras från laserfrekvensvariationer och miljöförändringar vara samma för de två vägarna. Detta förbättrar noggranheten och repeterbarheten jämfört med vinkelavvikelser beräknade från två fristående strålar.
Egenskaper och fördelar
Kompakt strålstorlek – minskad till 18 mm gånger 35 mm, för att minimera målspeglarnas storlek och vikt.
Enkel installation – konstruerad för att monteras direkt på vakuumkammarens utsida och fästas med 4 bultar.
Hög prestanda – att använda fristående RLD10-X3-DI-huvuden förbättrar noggrannhet och repeterbarhet jämfört med konventionella metoder.
Interferometriska laserpulsgivare
Renishaws laserinterferometerpulsgivare ger maximal precision vid linjär positionsåterkoppling. Hitta din lösning för rörelsestyrning från vårt utbud av högkvalitativa interferometriska laserpulsgivare och laser med lång räckvidd.
Ytterligare resurser
Kontakta vårt försäljningsteam idag
Kontakta ditt lokala kontor för att få mer information och prata med någon av våra experter.