Víceosý periskop RMAP
Víceosý periskop (RMAP) umožňuje šest stupňů volnosti pro aplikace souřadnicových stolů XY při minimalizaci stopy paprsku od několika interferometrů. Díky použití laserové jednotky RLU a tří interferometrických hlavic RLD10-X3-DI může víceosý periskop přesně měřit ve směrech pitch, yaw a v lineární pozici.
Víceosý periskop s úhlovým rozsahem ±30 obloukových vteřin je kompatibilní s většinou vysoce výkonných souřadnicových stolů, jejichž výkon dále optimalizuje. Díky jediné montážní ploše lze víceosý periskop snadno a rychle instalovat do vakuové komory nebo metrologického rámu (frame).
Použití hlavice RLD10-X3-DI pro úhlová měření umožňuje měřit chyby generované odchylkami frekvence laseru a změnami prostředí, které jsou běžné mezi dvěma dráhami. To zvyšuje přesnost a opakovatelnost v porovnání s úhlovými odchylkami vypočítanými ze dvou nezávislých paprsků.
Funkce a výhody
Kompaktní stopa paprsku – snížená o 35 mm na 18 mm minimalizuje rozměry a hmotnost cílových zrcadel.
Snadná instalace – navržený pro montáž přímo na vnějšek vakuové komory pomocí čtyř šroubů.
Vysoký výkon – použití nezávislých hlavic RLD10-X3-DI zvyšuje přesnost a opakovatelnost oproti konvenčním metodám.
Interferometrické laserové snímače
Laserové interferometrické snímače polohy Renishaw poskytují mimořádnou přesnost zpětné vazby lineárního polohování. Vyhledejte řešení pro řízení pohybu ze široké nabídky vysoce kvalitních interferometrických, laserových odměřovacích systémů a laserů s dlouhým dosahem.
Další zdroje
Kontaktujte ještě dnes náš prodejní tým
Obraťte se na místní kancelář, kde se dozvíte více informací a promluvíte si s odborníkem.