RMAP Periskop für mehrere Achsen
Das Mehrachsen-Periskop (RMAP) ermöglicht Messungen in sechs Freiheitsgraden zur Anwendung auf XY-Tischen. Dabei wird das durch mehrere Interferometer erzeugte Strahlenbündel minimiert. Unter Verwendung von einer RLU Lasereinheit und drei RLD10-X3-DI Interferometer-Köpfen kann das Mehrachsen-Periskop Nick-, Gierwinkel und lineare Positionen messen.
Mit einem Winkelbereich von ±30 Winkelsekunden ist das Mehrachsen-Periskop mit den meisten Hochleistungstischen kompatibel und optimiert deren Leistung zusätzlich. Eine einzige Montagefläche ermöglicht die schnelle und einfache Installation des Mehrachsen-Periskops in der Vakuumkammer oder am Rahmen des Messsystems.
Der Einsatz RLD10-X3-DI Kopfes für Winkelmessungen erlaubt eine bessere Zuordnung von Fehlern, die bedingt durch Schwankungen in der Laserfrequenz und wechselnde Umgebungsbedingungen oft zwischen den beiden Strahlengängen auftreten. Dadurch verbessert sich die Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit im Vergleich zu Winkelabweichungen, die anhand von zwei unabhängigen Strahlen berechnet werden.
Vorteile und Merkmale
Kompakte Strahlführung – um 35 mm auf 18 mm reduziert, minimiert die Größe und das Gewicht von Zieloptiken (Spiegeln).
Einfache Installation – für die Montage direkt außerhalb der Vakuumkammer konzipiert, Befestigung mit vier Schrauben.
Hohe Leistungsfähigkeit – durch die Verwendung separater RLD10-X3-DI Köpfe verbessert sich die Genauigkeit und Wiederholbarkeit im Vergleich zu herkömmlichen Verfahren.
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