Periscopio multi-eje RMAP
El periscopio multi-eje (RMAP) facilita la medición de seis grados de libertad en aplicaciones con plataformas XY, limitando al mínimo el espacio de los rayos de múltiples interferómetros. Con una unidad láser RLU y tres cabezales de interferómetro RLD10-X3-DI, el periscopio multi-eje mide con precisión la posición de cabeceo, ladeo y lineal.
Con un alcance angular de ±30 arcosegundos, el periscopio multi-eje es compatible con la mayoría de plataformas de alto rendimiento, lo que mejora todavía más el rendimiento. Con una sola cara de montaje, el periscopio multi-eje se instala fácil y rápidamente en la cámara de vacío o el bastidor metrológico.
El uso del cabezal RLD10-X3-DI en mediciones angulares permite unificar los errores generados por la variación de la frecuencia láser y los cambios ambientales. De este modo, aumenta la precisión y la repetibilidad respecto a las desviaciones angulares calculadas por dos rayos independientes.
Características y ventajas
Espacio compacto del haz: reducido 35 mm hasta los 18 mm, para minimizar el tamaño y el peso de los espejos objetivo.
Fácil instalación: se sujeta directamente con cuatro tuercas en el exterior de la cámara de vacío.
Alto rendimiento: el uso de cabezales RLD10-X3-DI independientes mejora la precisión y repetibilidad respecto a los métodos convencionales.
Encóderes láser interferométricos
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