Periscopio multiasse RMAP
Il periscopio multiasse RMAP offre sei gradi di libertà di movimento in applicazioni con base XY, mediante la riduzione delle dimensioni del fascio proveniente da più interferometri. Il periscopio multiasse utilizza un'unità laser RLU e tre teste interferometriche RLD10-X3-DI per misurare con accuratezza beccheggio, imbardata e posizione lineare.
Grazie al suo campo di misura angolare di ±30 secondi d'angolo, il periscopio multiasse risulta compatibile con la maggior parte delle basi ad alte prestazioni e contribuisce a sfruttare al massimo le loro potenzialità. Il design del periscopio prevede un'unica superficie di montaggio che ne consente l'installazione rapida in camere in vuoto o strutture metrologiche.
Con l'utilizzo della testa RLD10-X3-DI per le misure angolari gli errori generati dalle variazioni del laser e delle condizioni ambientali risultano comuni sui due percorsi, con un conseguente miglioramento dell'accuratezza e della ripetibilità rispetto al calcolo delle deviazioni angolari con due fasci indipendenti.
Funzioni e vantaggi
Fascio compatto – le dimensioni del fascio sono di 18x35 mm e consentono di ridurre le dimensioni e il peso degli specchi.
Semplicità di installazione – può essere montata direttamente all'esterno della camera in vuoto e fissata con quattro bulloni.
Prestazioni elevate – L'uso di teste RLD10-X3-DI indipendenti migliora l'accuratezza e la ripetibilità rispetto ai metodi convenzionali.
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