白皮書： 以雷射干涉儀做真直度量測及在移動工作台上的應用 (pdf)
File size: 1.74 MB
Language: 中文（繁體）
Part number: H-5650-2997
本白皮書詳細介紹了 Renishaw 雷射干涉儀真直度量測光學鏡組的工作原理，接著解釋了如何使用這些光學鏡組來量測移動工作台的真直度；特別著重說明當真直度干涉鏡是移動鏡組時與當反射鏡是移動鏡組時，這兩種設置之間的量測值差異。
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