案例分析： RLE20激光尺增强了Raith公司最新电子束光刻机的性能 (pdf)

Raith公司（之前称为Vistec Lithography and Leica Microsystems公司）的VB300电子束光刻机是在其VB6系列的基础上研制开发的，后者于1993年上市后曾大获成功。在设计新的机器时，Raith发现，如果能够减少由噪音引起的定位误差，光刻机的性能将显著提升。通过提高设备的机械刚性，同时集成基于雷尼绍RLE20差分干涉仪的激光尺系统，这些误差现在可低至 <3 nm。