RMAP-3A マルチアクシスペリスコープ (mp4)

XY ステージの 6 自由度を、複数の干渉計から照射されるビームの照射面積を最小限に抑えて測定するよう設計されています。マルチアクシスペリスコープは、RLD10-X3-DI 干渉計ヘッドと組み合わせて、ピッチ、ヨーおよび直線上の位置を測定します。