ケーススタディ: 精密製造/制御の進化、TONiC™ エンコーダ が握るそのカギ (pdf)

ここ数年、AI や 5G、IoT などの新技術の急速な発達に伴い、半導 体の需要が伸び続けている。装置メーカー各社は、高精度かつ高度な製造プロセスで求められる課題に対応するために、新モデル開発への投資を徐々に拡大している。半導体の製造では、フォトリソグラフィ用のデュアルウェハステージ、ウェハ接合装置、レーザーアニーリング装置、機器フロントエンドモジュールなどが用いられる。