アプリケーションノート： 半導体分野や科学分野の厳しい要求 に応える UHV 対応エンコーダ (pdf)
File size: 5.43 MB
Language: 日本語
Part number: PD-6517-9095
ハイエンド半導体の製造工程では、製作中の半導体ウェハおよびトランジスタ内で不具合を起こす異物が製造環境に存在しないことが求められる。半導体業界が形状の小型化、ウェハの大型化、そして工程増を伴う部品の複雑化が進むにつれて、ウェハへの異物混入に対する許容度が下がってきている。
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